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M2 AOI
M2提供了高速微電子設備檢查功能,並具有出色的缺陷覆蓋率。 M2的分辨率可降至次微米鏡級別,並且具有遠心光學元件,可在不到1平方米的佔地面積內提供完整的檢查。
微電子自動光學檢查
百萬像素彩色成像
高倍率
由上而下的觀察相機
快速設置
高速
高缺陷覆蓋率
錯誤率低